透镜的研发成功只是第一步。光
刻机的制造难度极大，但主要的拦路虎一共有四条。第
一是制造精度要求极高，一台光刻机数万个零件，要求的制造精度最少也是微米级，绝大多数精密部件要求精度达到亚微米级，极少数超高精密零部件的加工精度需要达到100纳米～200纳米。这
样高的精度，以国内现行的加工技术，根本做不到。人
力有时而穷，八级技工的手工打磨最高精度仅能达到亚微米级，就算秉持着十年磨一剑的精神，也磨不出精度只有100微米的极高精密零件。不
过对于钢铁城来说，这已经不是问题。实验工厂新研发的自动车床、铣床、磨床等一系列加工设备，均达到了最高精度一百多纳米的水平，完全达到了个别超高精密零部件的加工要求。
第二个是高透光度的透镜。第
三个拦路虎，则是光刻机的行动部件。
最后一个，就是短波激光光源。芯
片光刻，是通过工作台的移动，来改变光刻聚焦，对光刻胶进行刻蚀。它的运动控制部件优劣，直接决定了光刻的精度，而移动速度，又决定了产率，可以说是光刻机最核心的子系统。要
保证最佳的对焦调整，工作台的最小移动距离必须非常小，最好是一个纳米一个纳米移动。实
际制作中当然达不到这样的精度。
以飞利浦最新款的光刻机为例，它的最小移动距离实际只有300纳米。加上光源波长，它的光刻效果，最小线宽达到了三百五十纳米。其
他厂商差不多也是同一水平，有区别也差距不大。
这就是当前国际最先进的光刻机制程能力。
所谓一代设备，一代产品。
最新的奔腾2266处理器，采用的就是350纳米线宽的制程工艺。
白云天进入到实验室，对李莲道：“你们这边进度怎么样？”
“非常顺利！”李莲给了他一个笑脸。她
带领的小组，负责制造光刻机最关键的工作台子系统，其中最重要的就是运动部件。
为了保证运动的稳定性，移动部分不是普通导轨，而是空气悬浮导轨。
从制造难度来说，它不算太大。
无非是一两百纳米的加工精度，对才鸟枪换炮的钢铁城来说一点难度也没有。
刻机的制造难度极大，但主要的拦路虎一共有四条。第
一是制造精度要求极高，一台光刻机数万个零件，要求的制造精度最少也是微米级，绝大多数精密部件要求精度达到亚微米级，极少数超高精密零部件的加工精度需要达到100纳米～200纳米。这
样高的精度，以国内现行的加工技术，根本做不到。人
力有时而穷，八级技工的手工打磨最高精度仅能达到亚微米级，就算秉持着十年磨一剑的精神，也磨不出精度只有100微米的极高精密零件。不
过对于钢铁城来说，这已经不是问题。实验工厂新研发的自动车床、铣床、磨床等一系列加工设备，均达到了最高精度一百多纳米的水平，完全达到了个别超高精密零部件的加工要求。
第二个是高透光度的透镜。第
三个拦路虎，则是光刻机的行动部件。
最后一个，就是短波激光光源。芯
片光刻，是通过工作台的移动，来改变光刻聚焦，对光刻胶进行刻蚀。它的运动控制部件优劣，直接决定了光刻的精度，而移动速度，又决定了产率，可以说是光刻机最核心的子系统。要
保证最佳的对焦调整，工作台的最小移动距离必须非常小，最好是一个纳米一个纳米移动。实
际制作中当然达不到这样的精度。
以飞利浦最新款的光刻机为例，它的最小移动距离实际只有300纳米。加上光源波长，它的光刻效果，最小线宽达到了三百五十纳米。其
他厂商差不多也是同一水平，有区别也差距不大。
这就是当前国际最先进的光刻机制程能力。
所谓一代设备，一代产品。
最新的奔腾2266处理器，采用的就是350纳米线宽的制程工艺。
白云天进入到实验室，对李莲道：“你们这边进度怎么样？”
“非常顺利！”李莲给了他一个笑脸。她
带领的小组，负责制造光刻机最关键的工作台子系统，其中最重要的就是运动部件。
为了保证运动的稳定性，移动部分不是普通导轨，而是空气悬浮导轨。
从制造难度来说，它不算太大。
无非是一两百纳米的加工精度，对才鸟枪换炮的钢铁城来说一点难度也没有。